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ASML，今年卖了多少光刻机？_ZAGOGOGO人文艺术KER新闻

东海之滨，硝烟弥漫。陆军某合成旅一场跨昼夜实兵实弹演练火热展开，检验所属炮兵、防空兵在复杂环境下协同作战能力。

文 |   半导体产业纵横，作者 | 九林1984 年 4 月 1 日愚人节这一天，飞利浦和跟荷兰的一家小公司合资，成了一家新公司。新公司的缩写叫 ALS，跟渐冻症的缩写是一样的。一直到 1996 年，这家公司改名叫 ASML。也就是现在，大名鼎鼎的 ASML。今年，ASML 的 High NA EUV 光刻机成为设备新晋 " 顶流 "。其数值孔径（NA）从之前标准 EUV 光刻机的 0.33 提升到了 0.55 ，镜头的分辨率从之前的 13 nm 提升到了 8 nm，能够实现 2nm 以下先进制程大规模量产。英特尔、台积电、三星哪怕豪侈巨资也要拿下。ASML 光刻巨头的生意风生水起，今年 ASML 又卖了多少台光刻机？想要知道 ASML 究竟卖了多少光刻机，首先要简单了解一下这个光刻巨头到底造了哪些类型的光刻设备。ASML 的成长史，可以说是光刻机迭代史。PAS 2000、PAS 2500 的起步阶段我们回到最初的 1984 年，新生的 ASML 呱呱坠地。当时 ASML 的产品只有 16 台飞利浦当作库存的 PAS 2000。但这款光刻机采用油压传动台，有着巨大的缺陷，没有客户看得上。在发现了 PAS 2000 问题后，ASML 决定开发新一代采用电动晶圆台的光刻机，型号 PAS 2500。1986 年推出非常棒的第二代产品 PAS 2500，并第一次卖给美国当时的创业公司赛普拉斯（Cypress）。1988 年，飞利浦将 MEGA 生产线搬到了台积电，结果突发一场火灾。于是台积电想 ASML 采购了 17 台 PAS 2500，成为了 ASML 的最大客户。正是因为这些订单，AMSL 终于开始盈利了。PAS 5500，一战成名PAS 5500 是 ASML 的成名之战，1991 年发布，能够实现扫描式光刻。这时候 IBM 宣布将成为第一家在 8 英寸晶圆上制造芯片的公司。PAS 5500 通过了 IBM 的产业验证，实现了小批量交付。PAS 5500 按照模块化设计，客户可以根据不同工艺随意选配不同部件包，包括：55/100/200B/250C/300B/400D/700B/750E/850C 等等等，涵盖了各种光源（i 线和 KrF），各种尺寸（4-12 英寸），各种镜头（i 线和 KrF 镜头），各种投影模式（stepper/scanner）。这就使得一台设备能够实现百花齐放。PAS 5500 的战绩不止于 IBM，三星装机第一台 PAS 5500 后生产出了 250nm 工艺的 16Mb 存储器。SK 海力士在 1996 年装机后，1998 年直接成为了 AMSL 的最大客户。TWINSCAN 和浸没式技术时间来到了 1990 年代末，光刻机的波长也从 248nm 进入到 193nm，这就是著名的 ArF 准分子激光器。产业在 193nm 波长上卡了近 20 年。干式 193nm 光刻机的极限工艺是 65nm，再往下就很难实现了。产业内提出了各种超越 193nm 的方案，相对而言 157nm 技术难度稍低。这时候，AMSL 收购了美国光刻机厂商 AVG，储备了 157nm 和 EUV 光刻机。虽然浸入式光刻机的构思非常巧妙，但从工程角度看，它并不难完成。ASML 很快就按照设计制造出了 134 纳米波长光源的浸入式光刻机，TWINSCAN AT:1150i 。2006 年 ASML 推出了第一台批量生产的浸入式机器 XT:1700i。2008 年又推出了 TWINSCAN NXT:1950i 可用于 32 纳米芯片的量产，并迅速推动 ASML 开发出一系列用于亚 32 纳米制程节点的光刻系统，包括 NXT:1960i、NXT:1965i、NXT:1970i 等。改变时代的 EUV为了巩固地位，AMSL 在开发浸入式光刻机的同时，就已经向极紫外光源发起挑战。它摸索出了一种新的 EUV 产生方法：用激光轰击锡珠，让其化为等离子态，从而产生 EUV。基于这个方法，ASML 于 2010 年推出了第一台 EUV 样机。不过，将样机变为可以销售的商品还需要很多投入，预期的投入可能达到每年 10 亿欧元，以 ASML 的财力并没有能力独自完成这一切。为了解决这个问题，它邀请了英特尔、三星和台积电入股共同研发。终于，在 2013 年，量产的 EUV 光刻机 NEX:3300B 面世了——也就在这一年，温宁克和范登布林克接过了公司的领导权。之后，AMSL 于 2017 年推出了 TWINSCANNXE:3400B，将光刻机的制程（即最小的电路栅格间距离）从 7 纳米推到了 5 纳米。2020 年初，AMSL 发货了第 100 台 EUV 光刻机。再到 2023 年，再次推出了 High NA EUV 光刻机 TWINSCAN EXE:5000。从 AMSL 的路线图来看，在 2025 年还要推出将新一代 High-NA EUV 系统 EXE:5200。02  ASML 卖了多少光刻机？笔者翻阅 ASML 财报，整理了其自 2012 年开始的出货数据。ASML 出货与其不断成长的光刻历程息息相关。DUV 光刻机，出货量的主力军如果按照光源类型划分，不仅有 EUV 光刻机，还有 ArF 浸入式光刻机、ArF 干式光刻机、KrF 光刻机、i-line 设备等。其中，ArF、ArF 和 KrF 都属于深紫外线光刻机 ( DUV ) ，这也是当前半导体制造的主力。从 2012 年到 2023 年，ASML 出货量 2235 台 DUV 光刻机。从 2012 年的出货量来看，ArFi 和 KrF 等深紫外线光刻机 ( DUV ) 出货量远超 EUV 光刻机。毕竟，如前文锁述，能够量产的 EUV 也是在 2013 年才正式亮相。从上图来看，ArFi 出货数量一直保持在 70-80 台左右，但 2023 年出现了暴涨，直接出货 125 台。KrF 出货量原先也一直维持在 70 左右，但从 2020 年开始每年增长近 30 台左右。2020、2023 这两个时间节点大家都不陌生。在 2023 年末，荷兰和美国最新颁布的出口管制法规已经生效。当时阿斯麦首席财务官 Roger Dassen 表示："2024 年我们将不会获得向中国发运 NXT:2000i 及以上浸润式设备的出口许可证，此外，个别中国先进芯片制造晶圆厂将无法获得发运 NXT:1970i 和 NXT:1980i 浸润式设备的许可证。"2023 年，ASML 卖了 449 台光刻机，其中有 53 台是 EUV 光刻机，396 台是 DUV 光刻机。2023 年 DUV 光刻机的出货量，很大一部分来自于中国市场。EUV 光刻机，转折点在 2022从 2012 年 -2023 年，AMSL 一共出货了 233 台 EUV 光刻机。百位数的 EUV 光刻机的出货量对比千位数的 DUV 光刻机。可以说，出货数量少的可怜，但架不住 EUV 高昂的价格。ASML 目前在售的双工件台 EUV 光刻机单价约 1.2 亿美元至 1.5 亿美元左右。而其新一代高 NA EUV 光刻机造价更是高达 3 亿至 3.5 亿欧元（约合人民币 21.95 亿至 25.61 亿元）。从上图来看，自 2019 年开始，ASML 的 EUV 光刻机销售额出现了较大的增长，而自 2020 年销售额达到 44 亿欧元后，直接超过了当年的 ArFi 光刻机的销售额（40 亿欧元）。从此之后，EUV 光刻机的销售额就一骑绝尘。即使 2023 年，ArFi 光刻机出货数量爆增到 125 台，卖出的价格也只有 86 亿欧元。EUV 光刻机的总销售额还超过其 5 个亿欧元。地区营收，谁购买了最多的光刻机？2012 年开始，韩国、中国台湾地区、美国对于 ASML 光刻机的购买力是比较强的。当时中国大陆被列为亚洲其他地区，进而计算销售额。自 2015 年后，由于中国大陆购买金额增长，被 ASML 财报再单拎出来，以上 2015 年后的亚洲其他地区数据实际为中国大陆的数据。上图中，中国台湾地区对于光刻机的购买需求始终旺盛，基本是占了大头。但也不难理解，台积电作为全球第一的晶圆大厂，其资本支出一直是顶尖的。可以看到，从 2019 年到 2020 年，ASML 对中国台湾的销售额有明显上涨。对比当时的历史来看，这个是节点台积电正开始量产 7nm+ 制程（也就是 EUV 版的 7nm），因此销售金额增长不足为奇。韩国的光刻机购买金额，从 2018 年到 2019 年有一个巨大的下滑，但需要注意的是，其 2017 年、2018 年的金额达到 30 亿欧元，相较之前 15 亿欧元翻了一倍。2019 年正是上一个中国大陆地区对于光刻机的购买金额一直维持在 20 亿欧元左右，但 2023 年暴涨了 61 亿欧元，再次印证了前文所述，大陆只能在禁令下来前，现行购买部分光刻机。03 2024 年，ASML 又卖了多少台光刻机？看完了 ASML 前十二年的回顾，我们来仔细看看，在禁令实施的第一年，ASML 卖的如何吧。从地区来看，日本第一季度没有购买、欧洲第三季度也没有购买。值得注意的是，韩国今年依旧花了近 30 亿欧元购买光刻机，但原本一直占销售大头的中国台湾刚刚花了 16 亿欧元。同时，大陆的购买力也非常强，相比去年全年的 61 亿欧元，今年才三个季度，已经在 ASML 这里购买了 70 亿欧元的设备了。如果大陆 Q4 稳定按照 20 亿欧元的购买力度，那今年中国大陆的销售额会再创新高，甚至达到 90 亿欧元。在 ASML 公布 2023 年全年财报时，也对 2024 年的业绩做出了预测。认为 2024 年的净销售额将与 2023 年基本持平，而 ASML 2023 全年净销售额是 276 亿欧元。按照 276 亿欧元计算，今年中国市场将占 ASML 业绩的三分之一。

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编辑:孙天民

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